不锈钢圆刀片是在0. 10～ 0. 15mm厚的基体支撑下,形成0.20～ 0.32mm厚的切割刃口,将切割损耗降低在0.33mm以下;而且这种刀片的厚度几乎不受其直径的影响。也就是说,不增加切割损耗,就可以加工更大直径的晶体,这个优点是外圆切割刀片无法达到的。
不锈钢圆刀片的使用
不锈钢圆刀片的正确安装和使用,是确保刀片长寿命的一个非常重要因素。内圆刀片必须在安装同心下精确地磨损。金刚石内圆刀片其刃口最多有0.25 mm的金刚石延伸层,可靠的说法是0.10～ 0.20 mm。因此,如果磨损量超过0.1 mm,刀片的寿命就会急剧下降。
确定刀片张力恰当后,还应测量一下刀片的应变量。沿着离刃口3 mm的圆环施加一个100 g的力,用刻度表(千分表)显示这一点的应变量应该在0.025 mm,如图1。在运转动态条件下,基体材料会因摩擦和发热降低应力,造成张力松弛,所以建议和实行在机器上再张紧。
不锈钢圆刀片内圆刀片是应半导体工业的特殊需要而发展起来的。在近半个世纪内,对这种重要工具的设计改进、生产和使用技术的提高,对半导体工业生产的发展产生了重要的影响。人们应该认识到内圆切割是刀片及其操作者同等重要这一事实。

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